Activiteiten

"HiPrecision munt uit door zijn nauwkeurige en diepgravende analyse van de problematiek. De hieruit volgende aanbevelingen helpen ASML om zijn produkten steeds verder te verbeteren" Joep Janssen, Group Leader Mechanical System Analysis, ASML

1. Trillingsreductie TEM

FEI hoogste resolutie transmissie-electronenmicroscoop vraagt een positioneringsstabiliteit in het gebied van enkele tientallen picometers, van het specimen ten opzichte van de electronenbundel. HiPrecision inventariseerde trillingsbronnen in het bestaande microscoop-ontwerp en deed concrete aanbevelingen voor trillingsreductie. In dit project speelden trillingsmeting en -analyse, en modelering van demping een belangrijke rol. 

www.fei.com   

2. Motion sensoren in vacuum

De meest geavanceerde chipmachines van ASML, Veldhoven, belichten de wafer in vacuum. De positionering van de wafer in vacuum wordt gedaan door een complex mechatronisch systeem, de wafer stage. HiPrecision coordineerde het uitbestede ontwikkelproces voor de contactloze positiesensoren, waarbij regeltechniek, calibratieprocedures, thermisch, mechanisch en electronisch ontwerp een belangrijke rol speelde. Vervolgens begeleidde HiPrecision de ontwikkeling en kwalificatie van de sensoren bij de toeleveranciers. 

www.asml.com   

3. Piezo-sensor en -actuator als trillingsdemper

Door een piezo krachtsensor en een piezo-actuator in serie te plaatsen, en de sensor terug te koppelen naar de actuator, ontstaat een aktieve trillingsdemper. HiPrecision ondersteunde de ontwikkeling van een dergelijke trillingsdemper met analyses en berekeningen in de concept fase en door begeleiding van het detailed design.  

www.heinmade.com   

4. Precisiemechanica onder hoge versnellingen

Bij de productie van halfgeleiders vormt productiesnelheid een belangrijke factor voor succes. Voor de belichtingsmachines van ASML, Veldhoven, betekent dit een voortdurende toename van snelheid en versnelling van hoog-nauwkeurige mechanica. HiPrecision heeft de grenzen en mogelijkheden onderzocht om tot significant hogere versnellingen te komen. Voor deze opdracht is een testopstelling gebouwd waarmee metingen zijn uitgevoerd in het nanometergebied. Om het effect van de gemeten verschijnselen op klantproduct te voorspellen heeft HiPrecision een theoretisch model opgezet. De metingen en modelering hebben geleid tot de noodzakelijke aanpassingen in mechanica en software. 

www.asml.com   

5. Ophanging electronenoptiek

MAPPER Lithography, Delft, werkt aan een nieuwe generatie geavanceerde lithografiemachines die een efficiente productie van halfgeleiders mogelijk maakt. HiPrecision heeft voor MAPPER een voorstudie uitgevoerd voor het mechanisch ontwerp van de electronenoptiek. Haalbaarheid van nauwkeurigheid en stabiliteit werd afgeschat op basis van modellen en afschattende berekeningen, die zich afspelen in het gebied van nanometers en milli-kelvins. Praktische maakbaarheid speelde een belangrijk rol. Het vooronderzoek resulteerde in helder inzicht in de cruciale factoren die bij het ontwerp een rol spelen.
www.mapperlithography.com

6. Nauwkeurigheid singulation machine

Een van de laatste stappen in de halfgeleiderproductie is het losmaken van de chips uit een zogenaamd lead-frame. Fico Singulation, Drunen, ontwerpt en produceert voor dit doel geavanceerde zaagmachines. Om de zaagnauwkeurigheid voor toekomstige processen verder te verbeteren heeft HiPrecision een nauwkeurigheidsanalyse uitgevoerd. Deze analyse resulteerde in inzicht in de samenhang van de verschillende bijdragen, en leverde aanbevelingen voor toekomstig ontwerp.

www.ficosingulation.com

7. Vlakheid wafer

Bij de lithografiestap in de productie van halfgeleiders is de vlakheid van het te belichten materiaal, de wafer, cruciaal. Voor deze toepassing zijn vlakheden in het sub-microngebied vereist. In opdracht van ASML, Veldhoven, heeft HiPrecision een onderzoek uitgevoerd naar bronnen van waferonvlakheid. Via experimenten en metingen zijn mechanismes getraceerd die tot onvlakheid leiden. Het onderzoek heeft geleid tot concrete aanbevelingen die de wafervlakheid verbeteren. 
 

8. Technische coordinatie en kwalificatie

MAPPER Lithography, Delft, bouwt een proto-type voor een nieuwe generatie geavanceerde lithografiemachines. HiPrecision heeft de technische coordinatie uitgevoerd van een uitbesteed ontwerptraject, waarbij nauwkeurigheden in het sub-microngebied een rol speelden. HiPrecision vormde de schakel tussen het systeemontwerp van het prototype en de ontwerpgroep bij de partner. De kwalificatie van de opgeleverde mechanica is door HiPrecision uitgevoerd.

9. Cursus Tolerantie-analyse

In samenwerking met Mikrocentrum ontwikkelde HiPrecision een 3-daagse cursus Tolerantieanalyse. De cursus behandelt een methode om toleranties systematisch in kaart te brengen. De cursus wordt twee keer per jaar gehouden, in maart en oktober, in Utrecht en Eindhoven. Ook wordt de cursus bedrijfsintern georganiseerd.

Informatie en inschrijving via Mikrocentrum.

10. Consultancy

Voor diverse partijen heeft HiPrecision kortlopende consultancy-opdrachten uitgevoerd. Voorbeelden zijn trillingsmetingen, stijfheidsberekeningen, advies bij montageproblemen en een lijmonderzoek. In alle gevallen leverde HiPrecision praktische en concrete aanbevelingen. Ook ontwikkelde HiPrecision enkele korte in-company workshops over specifieke technische onderwerpen.